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概要
・ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡
・機械加工部品の表面粗さ・形状を非接触で短時間に測定
特長
高効率
短時間で三次元表面性状を測定。接触式測定機と比較して100倍以上の時間短縮が可能
安定性
微細粗さ形状から機械加工面までの東京精密独自の白色干渉縞ピーク検出アルゴリズム(DEAP)により、安定した形状データを取得
操作性
定評あるACCTee、SurfcomMapによる豊富な解析と抜群の操作性
こんな業界におすすめ
・機械加工部品(フライスなどの機械加工面の面性状評価)
・半導体関連(ウエハ)
・ゴムローラー
・砥石のグレイン解析
・シボ加工樹脂成形品 など
仕様
走査範囲(Z) | 20mm |
分解能(Z) | 0.1nm |
指示精度(Z) | 0.8±|2H/100|μm |
測定範囲(X,Y) | 約1.7×1.7mm |
CCD画素数 | 2048×2048 |
CCD分解能(X,Y) | 1.10μm |
最大測定高さ | 200mm |