概要
収差補正TEMの新たな用途を切り拓く
特長
1、JEOL製ピクセル型STEM検出器
直接露光型のCCDを用いているため、読み出し速度が速く、STEM像が高速で取得可能
・S/N比 300：1
・量子効率 ほぼ100％でロードーズイメージングに最適
・TEM用の高速高感度直接露光カメラとしての機能有り
2、他の検出器との同時装置
・ADF検出器(高角度散乱暗視野STEM検出器)と同時データ取得
・EELS(電子線エネルギー損失分光装置)の装着の妨げにならない
3、高速STEM検出を実現
256×256画素のSTEM画像取得時間
・ フルフレーム 264×264 pixels時：64秒 (1,000fps)
・ １×２ビニング 264×132 pixels時：32秒 (2,000fps)
・ １×４ビニング 264×44 pixels時：32秒 (4,000fps)
4、幅広いエネルギー領域に対応
電子線に敏感な試料にも最適な加速電圧で対応
・低加速 30kV
・高加速 200ｋV～300ｋV
5、最新鋭透過電子顕微鏡への装着可能
収差補正と高安定性を備え、4次元データの高安定な取得が可能
※現時点で装着可能な機種：JEM-ARM200F JEM-ARM300F
JEM-F200に関しては、将来的に装着が可能
6、ソフトウェア
・検出器面上での所望領域から得られるSTEM像の合成可能
・各電子線位置におけるビームシフト量を計算し、電場・磁場の方向と強度を可視化
