概要
表面粗さも、輪郭形状も、1台で完結
特長
表面粗さも、輪郭形状も、どちらの評価も必要な場合も自由自在な検出器の組み合わせであらゆるワークピースに対応
・測定レンジ従来機比2倍以上の新開発のワイドレンジハイブリッド検出器を搭載し、傾斜面や起伏形状、R面のある表面粗さ・輪郭形状をワントレースで効率良く評価
・表面粗さ測定用/輪郭形状測定用の専用検出器もワークピースに応じて自由自在に付け替えや後付けが可能
・SURFCOM NEX1台あれば、他の表面粗さ・輪郭形状測定機は不要
クラス最速の高速駆動とワイドレンジハイブリッド検出器で準備や測定を短時間で完了
・駆動速度の大幅な向上により、手動でのワークピースへのアプローチや、CNCプランの作成、CNC測定中の駆動時間を短縮
・準備から測定まで検査工程全体での効率化
・ワイドレンジハイブリッド検出器を使用することで、表面粗さと輪郭形状を別々に測らずに済み、傾斜面やR面の表面粗さ測定時に避けて通れない緻密なアライメントも省略できるため、最小の手間と最短の時間での検査を実現
超低振動測定と20±5°Cでの運用が可能な世界唯一のリニアモータ駆動部搭載機
・東京精密の特許技術であるリニアモータ駆動部を従来のSURFCOMNEXから継承
・超低振動駆動機構により振動由来のノイズの発生を抑え、高精度な測定結果を提供
・温度変化によるスケールへの影響をリアルタイムに補正することで、20±5 °Cという広い温度範囲での精度保証を実現
・温度管理のしづらい環境においても、信頼性の高い測定結果を算出
新開発！ワイドレンジハイブリッド検出器
・Z軸測定範囲は従来機比 2.6 倍の 13 mm。ワイドレンジにもかかわらず、Z方向測定範囲すべてで0.0009 μmの高分解能を発揮
(LH=50 mm測定⼦使用時)さらに、測定範囲を 26 mm にまで拡大するLH=100 mm測定子（※）も用意（※）粗さ・輪郭形状両用のものはオプション
