概要
・光学顕微鏡だけではわからない形状&組成を迅速に確認
・異物解析や品質管理を効率化する機能を各種搭載した卓上SEM
特長
異物解析や品質管理を効率化する機能を各種搭載
・色情報が得られるCCD画像と表面詳細情報が得られるSEM像が連動するZeromag機能により素早く快適な視野探しが可能
・2軸モーターステージ(X,Y)により作業効率に優れモンタージュ撮像にも対応可能
・観察中も常に元素分析結果が表示されるLive Analysis機能を搭載し、効率の良い元素分析が可能
・Live3D機能によりSEM観察しながらその場で3D像構築し凹凸・深さ情報の取得が可能
誰でもSEM/EDSが操作できる
JCM-7000 NeoScope™は「誰でもSEM/EDSを操作できる」がコンセプトの卓上走査電子顕微鏡(卓上SEM)として開発されました。
そのための主な機能として
■一つの画面上で光学像*1から走査電子顕微鏡(SEM)像に移行
■観察しながら元素分析*2
■オート機能で低倍率から高倍率まで鮮明画像
■導電性のない試料も前処理不要の低真空 (LV) モード
■詳細な形態観察ができる高真空 (HV) モード
■観察しながら3D 構築 (Live 3D)
■コピー&ペースト不要の自動レイアウトによる結果出力(SMILE VIEWTM Lab)
*1. Zeromag( 光学像 ) の撮影には、ステージナビゲーションシステム ( オプション ) が必要です
*2. EDS 元素分析装置 ( オプション ) が必要です
光顕との比較。低倍率でもSEMは必要!?
異物解析
組成の異なる異物の発見や元素分析を容易にします。
【例】食品に付着した黒色異物の分析
光学顕微鏡画像
光学顕微鏡で異物を観察すると細かい粉体であることが分かります。
SEM像(反射電子組成像)
同一視野をSEMの反射電子組成像で観察し、拡大すると輝度の違いから2種類の粉体があることが分かります
SEM像(反射電子組成像)と元素分析結果
2種類の粉体を、それぞれ画面いっぱいに拡大(赤枠部分)すれば、元素分析装置(EDS)を起動しなくても、主元素のスペクトルが表示されます。
品質管理
光学顕微鏡では見えにくい添加剤の観察や、混入物の分析が簡単に行えます。
【例】顆粒(医薬品)表面に添加した滑沢剤の分布観察
光学顕微鏡画像
光学顕微鏡では、白い顆粒(医薬品)上に添加した白い滑沢剤の付着状態を確認することが困難です。
SEM像(反射電子組成像)
顆粒と滑沢剤は組成が異なるため、SEMの反射電子組成像を使えば、滑沢剤の分布が一目で分かります。
SEM像(反射電子組成像)と元素分析結果
拡大(赤枠部分)すると、滑沢剤の付着状態を観察することができます。
「誰でもSEM/EDSが操作できる」ための機能
Zeromag&低真空モード
Zeromagなら光学像で視野探しができます。
SEM像に切り替わっても、標準搭載の低真空モードを使えば前処理なしで観察できます。
Live!Live!Live!
■Live Analysisで観察中にスクリーニング分析
■Live Mapで主元素の分布も即座に確認
■Live 3DはSEM像と3D画像をLiveで二画面表示する機能です。
形状判断と同時に、深さ情報も得られます。
SMILE VIEW™ Lab
SMILE VIEW™ Labは、Zeromag画像、SEM像、EDS分析結果、全てのデータを一元管理することができます。レポートへの展開も簡単におこなうことができます。
仕様
写真倍率 | ×10 ~ 100,000 (128 mm × 96 mm を表示サイズとして倍率を規定) |
表示倍率 | ×24 ~ 202,168 (280 mm × 210 mm を表示サイズとして倍率を規定) |
画像モード | 高真空モード:二次電子像、反射電子像 (組成、凹凸、立体、3D) |
低真空モード:反射電子像 (組成、凹凸、立体、3D) | |
加速電圧 | 5 kV、10 kV、15 kV(3 段) |
電子銃 | タングステンフィラメント・ウェーネルト一体型グリッド |
試料ステージ | X-Y モーター駆動ステージ X : 40 mm Y : 40 mm |
最大試料寸法 | 80 mm 径 50 mm 高 |
試料交換 | ステージ引出し式 |
画素数 | 640 × 480、1,280 × 960、 2,560 × 1,920、5,120 × 3,840 |
自動機能 | アライメント調整、フォーカス、非点、露出調整 |
計測機能 | 2点間測定、角度測定、線幅測定 |
ファイル形式 | BMP、TIFF、JPEG、PNG |
コンピューター | デスクトップ PC OS Windows® 10 |
モニター | 24 型 |
排気系 | 完全自動、TMP: 1 台、RP: 1 台 |