概要
・FE電子銃搭載の汎用SEM
・自動機能も進化し、走査電子顕微鏡の総合力を大きく向上
特長
SEM像とEDS分析の取得を自動化 「Simple SEM」
・SEM像の取得条件と視野の選択を行うだけで、あとは自動でSEM像とEDS (エネルギー分散X線分光法) 分析の取得を行う機能
・分析業務を含めたルーティンワークの効率化に貢献
その場で3D像を構築「Live3D」
SEM観察しながらその場で3D像を構築し、凹凸・深さ情報を取得
従来システム約5倍のエリアの光学像を取得「ステージナビゲーションシステムLS」
・観察試料の光学像を取得し、光学像をクリックするだけで目的の観察視野へ移動が可能
・従来のステージナビゲーションシステムと比較して約5倍のエリアの光学像を取得
低真空下でも詳細な凹凸情報を取得 「低真空ハイブリッド二次電子検出器 (LHSED) 」
二次電子が残留ガス分子に衝突した際に発生する電子と励起光を検出することで、低真空下でも詳細な凹凸情報が取得可能
5軸モーター試料ステージ
5軸モーター試料ステージを標準搭載し、凹凸試料のSEM画像取得やEDS分析も可能
電子銃の安定性を向上
電子ビーム安定度をさらに向上させ、多試料を同時に搭載可能な試料ホルダーを用いた、長時間の連続自動運転に対応
仕様
| 分解能 | 高真空モード：1.0㎚（20ｋV）3.0㎚（1.0ｋV） 分 析 時 ：3.0㎚（15ｋV 照射電流3nA） 低真空モード：1.8㎚（15ｋV BED） |
| 写真倍率 | ×5～×600,000 （128mm×96mmを表示サイズとして倍率を規定） |
| 表示倍率 | ×15～×1,767,305 モニター上の画像倍率 （377ｍｍ×283ｍｍを表示サイズとして倍率を規定） |
| 電子銃 | ショット―キ電界放出電子銃 |
| 加速電圧 | 0.5ｋV～30ｋV |
| 最大試料寸法 | 200mm径×75mm高さ 200mm径×80mm高さ※ 32mm径×90mm高さ※ ※オプションホルダーが必要です |
| 試料ステージ | 大型ユーセントリック式 X：125mm Y：100㎜ Z：80mm 傾斜：－10～90° 回転：360° |
