概要
微小異物分析や微小構造分析において微小領域からの試料採取を目的としたマイクロサンプリングシステム
従来手作業で熟練を要した様々な分析業務のための微量サンプリングを、どなたにでも簡単容易にできるようにデザインされたマイクロマニピュレーターシステムです。
正確な微量サンプリング及び受渡しが可能となるとともに、作業者の負担が軽減でき、作業の標準化・正確性・再現性に貢献します。 液晶関連部材・電子部品・半導体部材・化成品・機能材料・製薬等の各分野において、製造工程で混入する異物の微量サンプリングに最適なソリューションを提供します。
特長
顕微鏡分析に有効な試料準備ソリューション
マイクロサポートでは、微小異物分析や微小構造分析において微小領域からの試料採取を目的としたマイクロサンプリングシステムを開発、販売しております。サンプリング機器やマイクロツールを試料の状態、対象サイズ、機器操作性等から選択できるようにご提案をいたします。また製造工程においても多くの用途で活躍しております。
応用例
試料準備用途：顕微IR、SEM、TEM、FIB、AFM、XRD、GC-MS
微小物のハンドリング：放射光実験用試料、放射性物質の採取、高温高圧実験
生産技術：デバイス上の異物除去、ノズルつまりの解放、微細配線カット、ペースト塗布、微小部品実装
マイクロサンプリング用サンプリング顕微鏡システム
アクシスプロ（AxisPro）はこれまで人間の手では不可能だった5μm以下のサンプリングを安定して行える電動マイクロスコープ一体型サンプリングシステムです。
試料ピックアップ後の確実な分析ウインドウへの受渡しを実現することで、これまで分析が困難であった10μm以下の試料も何回か繰り返しのかさ増し作業を行うことで十分な感度を得ることが可能です。また、表面から深さ方向への定量的な切削を行うことで顕微ATR測定のための試料面出し作業もピンポイントで実現できます。
更にマイクロスコープの機能も下記のように拡充されており、形態観察、寸法計測、画像＆動画取得が簡単に行えます。
- 最小倍率視野を最大64視野接続し、構築したマップ像から高倍率視野とのリンクが可能です。
- フォーカスを任意の設定値で微動しながら撮像を行うことで、フォーカス合成用の画像取得が可能です。
- 電動制御によりワンタッチで変倍が行え、スケール表示やマニピュレーション時の動作倍率も瞬時に最適化します。
マイクロサンプリング用マイクロツール
各種サンプリング機器を使用して対象部位を採取するには状況に応じたマイクロツールの選定が必要です。個体、粉体、液体、粘着体、構造体、積層物 等いろいろな状況に合わせて先端ツールを準備しておくことで顕微分析に有効な微小部単離作業が可能になります。
マイクロサポートには他にはない先鋭化されたタングステンプローブ、多彩な形状の切削ツールやナイフ、サイズバリエーションが豊富なマイクロキャピラリー等の標準ツールが満載です。
マイクロサンプリング用機能アタッチメント
針やナイフといったツール以外にアクティブに操作できる機能アタッチメントラインナップをご紹介します。
ミリングプロ（MIL-1）は表面から深さ方向切削を行うために超音波振動アタッチメントです。これにより定量的な切削が可能になり、埋没異物の掘出しや深さ方向ミクロ構造を分析するための微細な加工が行えます。
マイクロツイーザーズ（MTW-1）は真空吸着ツール（VP-SET-2）は個体や微粒子等のピックアップ時に針先でうまく採取できない試料をつまんだり、吸引することで確実に採取することが可能になります。
マイクロインジェクター（MI-B）は液中の異物や微小物、表面の封着液体の吸引採取は可能です。また表面のシミに溶媒を微量滴下／吸引することで微小部濃縮による分析準備が可能となります。
マイクロシザーズ（MSC-2）は短繊維や金線等のピンポイント切断が可能です。またピンセットの代わりに粘着剤中から繊維等を引き上げる際のツールとしても有効です。
マイクロシザーズ（MSC-2）は短繊維や金線等のピンポイント切断が可能です。またピンセットの代わりに粘着剤中から繊維等を引き上げる際のツールとしても有効です。
高精度ローテーター（HPR-1）は採取した微小物の受渡し時に精密回転機構により姿勢を調整し、確実な受渡しを実現します。TEMの薄膜や数μmの微小物の受渡しや剥離膜の裏面観察に威力を発揮します。
サンプリングステーション
サンプリングステーションはマイクロサポート推奨のマイクロスコープをベースに、ユーザーがサンプリング機器を自由に選択、配置可能なカスタムセットアップシステムです。ご予算や必要に応じ自由にカスタムセットアップが可能です。
マイクロサンプリング用マイクロマニピュレーター
クイックプロ（QP-3）は、AxisProのアーム部をセパレート化しスタンドアロンとしました。マウスコントロールによる遅延のないきびきびした動きと繰り返し作業を両立させたコストパフォーマンスの高い製品です。右手、左手、または両手をマウス１個とタッチパネルで操作します。最小0.1μmステップからの定量移動動作が可能となっています。お手持ちの顕微鏡にセッティングが可能ですので、ご予算に合わせ豊富な組み合わせから選択できます。
クイックジョイ（QJ-2）及びXYZファインは手作業支援を行うメカニカルマニピュレーターです。手振れの少ない精密な位置決めが可能となります。
フィルムトリミング機
多層構造フィルムや薄片の断面作製を手軽に行えるクイックトリミングツール（TT-101）をご紹介します。
本装置は実体顕微鏡下で狙ったポイントを見ながら層構造をそのままに断面切断が可能です。手作業では困難なμmオーダーでの位置決めが実体顕微鏡とマイクロメーターを装備した試料ステージにより、どなたでも簡単に操作できます。試料ステージの微小送りにより、等間隔での短冊切も可能です。ワンタッチで脱着可能なカッターベースと引き出し可能な試料ステージを装備し、スムーズなトリミング作業が可能です。またトリミング刃に替えて超硬プローブを装着することで、ミクロのパンチング作業も可能になります。これによりピンポイントのマーキング作業が簡単に行えます。
