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概要
広範囲にピントが合い、かつ、高精度に測定が可能
特長
・画面内精度±1.5µm、高分解能モードで繰返し精度±0.7µm(QI-Bシリーズ)で、広範囲にピントが合い高精度に測定
・作動距離90mmを確保しているため、凸凹のあるワークでも衝突の心配なくピント合わせが可能
・±(3.5+0.02L)μmの精度で、信頼あるデータの取得
・最大積載質量20kgと高さ方向100mmのストロークが、大物ワークの測定を可能
・視野に収まらない大きなワークを、スティッチング(複数画像連結)により全体表示画像で測定
・測定箇所をすばやく見つけることができ、測定忘れも一目で把握
・エッジをワンクリックするだけで、誰でも簡単に多点測定が可能
・異常点除去機能で、自動的に不要な測定点をカットし、正確で安定した多点測定が可能
・最大22mmの段差までの焦点深度範囲内では、高さ位置による誤差を極限まで低減し、ピント合わせによる個人誤差を抑えた測定が可能
・円筒加工物の測定にも適する
・ワンクリック実行機能で、画面内の複数ワークをパターンサーチし、一度に効率よく測定
・正確な位置決めが不要となり、面倒な治具の準備も不要
・XYステージを楽に動かせるため、長寸法の測定に威力を発揮
・スティッチングは始点と終点を指示すだけで電動ステージが自動で動きますので、簡単に全体表示画像を入手
仕様
マニュアルステージ | 電動ステージ | |||||||
0.2xタイプ | QI-A1010D | QI-A2010D | QI-A2017D | QI-A3017D | QI-A4020D | QI-C2010D | QI-C2017D | QI-C3017D |
0.5xタイプ | QI-B1010D | QI-B2010D | QI-B2017D | QI-B3017D | QI-B4020D | |||
測定範囲(X×Y) | 100×100mm | 200×100mm | 200×170mm | 300×170mm | 400×200mm | 200×100mm | 200×170mm | 300×170mm |
載物ガラス有効寸法 | 170×170mm | 242×140mm | 260×230mm | 360×230mm | 440×232mm | 242×140mm | 260×230mm | 360×230mm |
最大積載質量 | 約10kg | 約20kg | 約15kg | 約10kg | 約20kg | |||
本体部質量 | 約65kg | 約69kg | 約150kg | 約158kg | 約164kg | 約72kg | 約153kg | 約161kg |
QI-A/QI-C | QI-B | |||||
視野 | 32×24mm | 12.8×9.6mm | ||||
測定モード | 高分解能モード/ノーマルモード | |||||
移動範囲(Z方向) | 100mm | |||||
精度 | 画面内の測定精度 | 高分解能モード | ±2μm | ±1.5μm | ||
ノーマルモード | ±4μm | ±3μm | ||||
画面内繰り返し精度 | 高分解能モード | ±1μm | ±0.7μm | |||
ノーマルモード | ±2μm | ±1μm | ||||
測定精度(E1xy) | ±(3.5+0.02L)μm L:任意の測定長さ(mm) | |||||
モニタ倍率 | 7.6x | 18.9x | ||||
光学系 | 0.2x | 0.5x | ||||
撮像素子 | 300万画素 1/2型 カラー | |||||
照明係 | 透過照明:緑色LEDテレセントリック照明 落射照明:白色LED リング照明:4分割白色LED | |||||
電源 | AC100~240V 50/60Hz | |||||
精度保証温度 | 20±1℃ |